In der Fertigungshalle wird die Schichtplanung nicht unterbrochen, wenn eine Lampe ausfällt. Die Verarbeitungsschritte wie das Weichbrennen, das Hartbrennen sowie das Nachbrennen erfolgen innerhalb eines festgelegten Temperaturbereichs. Wenn die Wärmequelle versagt oder ausfällt, sind alle Teile des Produkts beeinträchtigt: Der Profil der Fotolyseschicht ändert sich, die kritischen Abmessungen verändern sich – und das Ergebnis ist schließlich Ausschuss.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben die Infrarotlampe für die Halbleiterverarbeitung um einen Kurzwellen-Infrarotemitter in einer Quarzkapsel herum entwickelt. Das ist die beste Lösung, wenn man eine schnelle Reaktionszeit sowie eine stabile Spektralausgabe von Zyklus zu Zyklus benötigt. Das Ziel ist eine thermische Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C. Dies wird durch eine kalibrierte Lampenanordnung sowie eine geschlossene Temperaturregelung erreicht.
Die Lampe eignet sich für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100. Die verwendeten Materialien und Komponenten sorgen dafür, dass die Partikelbildung minimiert wird. Der Emittent ist für eine lange Lebensdauer konzipiert – mehr als 5.000 Stunden Betriebszeit ohne mehr als 5 % Leistungseinbußen. Die gesamte Konstruktion ist so gestaltet, dass die Wiederholgenauigkeit von Durchgang zu Durchgang sowie von Maschine zu Maschine konstant bleibt.
Warum das funktioniert:
In der Lithografie und bei der Photolysebestimmung spielt die Brenntemperatur eine entscheidende Rolle – sie bestimmt die Entfernung der Lösungsmittel, den Glasübergang sowie die Ätzwirkung. Diese Lampe liefert genau die gewünschte Temperatur, sodass ein gleichmäßiges Weich- und Hartbrennen möglich ist – ohne Hotspots oder ungleiche Temperaturen an den Rändern. Dadurch kommen weniger Nacharbeiten infrage, die Prozessparameter bleiben konstanter – und man kann die Erträge besser planen.
In Hochleistungsanlagen, in denen der Betrieb ständig weitergeht, ist eine zuverlässige Funktion ohne unplanmäßige Stillstände unerlässlich. Wir haben die Lampe so konstruiert, dass sie diesen Anforderungen entspricht – damit der Produktionsablauf nicht durch Wartungsarbeiten unterbrochen wird. Der Energieverbrauch wird durch ein schnelles Erreichen des gewünschten Temperaturwertes reduziert – dabei bleibt die thermische Stabilität durante dem Brennvorgang erhalten.
Was man wissen sollte:
Bei der Installation muss die Lampenanordnung der Geometrie des Behälters angepasst werden. Zudem müssen die Stromversorgung und die Anschlüsse den Anforderungen der Maschine entsprechen. Die Lampe wird heiß – daher müssen Schutzmaßnahmen sowie Kühlvorrichtungen vor der Inbetriebnahme überprüft werden.
Planen Sie außerdem eine Initialkalibrierung für jede Verarbeitungsart ein, damit die Homogenitätskurve gesichert werden kann. Danach bleibt das System wiederholbar – mit minimaler Nachkalibrierung.