In der Fertigungshalle sind thermische Schwankungen während des Trocknungsprozesses des Fotoresists keine Hypothese – sie äußern sich in einer Veränderung der Linienbreite, einer schwachen Haftung des Fotoresists sowie in einem Rückgang der Ausbeute. Wenn das Temperaturprofil des Ofens nicht konstant bleibt, leidet der Wafer darunter. Wir haben unsere Infrarotleuchten so gestaltet, dass dieses Temperaturprofil von Cycle zu Cycle konstant bleibt.
Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle über die Temperatur. Diese Leuchten strahlen Kurzwellen-Infrarot aus – mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektrenkontrolle. Dadurch bleibt die Homogenität auf der Oberfläche des Wafers bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C über 10.000 Zyklen hinweg. Die Leuchten entsprechen den Anforderungen von Reinräumen – das Quarzkörpergehäuse sowie die keramischen Komponenten erfüllen die ISO-Klassifikationen 1–100. Es kommt zu keiner Partikelfreisetzung und zu einer Gaseemission unterhalb von ppb. Die Leistungsdichte wird so eingestellt, dass Lösungsmittel vollständig verdampfen können, ohne dass der Fotoresist geschädigt wird. Bei höheren Temperaturen erfolgt eine stabile Vernetzung des Fotoresists.
In Lithografieanlagen stabilisieren diese Leuchten das Temperaturprofil direkt auf der Waferoberfläche – nicht nur am Sensor. Diese Präzision führt dazu, dass die Abweichungen im CD-Wert gering bleiben, der Ausschuss reduziert wird und die Qualifizierungszeiten verkürzt werden. Zudem wird Energie eingespart, da das System schnell zum Zielwert kommt und diesen auch bei Störungen beibehält.
Die Zuverlässigkeit zeigt sich in der Betriebsdauer. Unsere Leuchten arbeiten kontinuierlich mehr als 5.000 Stunden lang, wobei der Ausfallanteil weniger als 5% beträgt. Für Großkäufer bedeutet das vorhersehbare Wartungsintervalle, weniger Ersatzteile und eine konstante Prozesseffizienz.
Hier sind die praktischen Aspekte, die berücksichtigt werden müssen:
Die Installation ist einfach, doch die Ausrichtungsgenauigkeit muss hoch sein. Überprüfen Sie daher unbedingt die Fokallänge sowie die Geometrie des Reflektors, damit die Homogenität bei ±0,1°C erhalten bleibt. Es kann vorkommen, dass das Gerät 10–15°C wärmer läuft – es sei denn, der Abluftweg ist entsprechend dimensioniert. Zudem sollten die Spannungsschwankungen unter 2% liegen. Ein lokaler Linearisierer ist die sicherste Möglichkeit, um die Zielwerte langfristig stabil zu halten.