Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner
Das Ende des Albtraums durch geplatzte Glühröhren bei der Wafer-Trocknung
In einer hochbelasteten Halbleiterfabrik ist ein geplatzte...
Kompakter Infrarot Trockner für ICs
Auf dem Lithoflachbett kann bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer...