Auf dem Lithoflachbett kann bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer beeinträchtigt werden – mit dem Ergebnis, dass ganze Waferchargen unbrauchbar werden. Man benötigt keine Hitze, die „nah am gewünschten Wert“ liegt. Vielmehr ist es notwendig, dass die Temperatur stets innerhalb der vorgegebenen Grenzen bleibt.
Was wir entwickelt haben – und warum das wichtig ist
Wir haben diesen kompakten Infrarottrockner mit Mittelwellen-NIR-Emittern sowie einer quarzbasierten Wärmequelle ausgestattet. Dadurch können wir eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C über die gesamte Fläche der Wafer gewährleisten. Die geschlossene Regelung sorgt dafür, dass die Temperatur immer konstant bleibt – somit bleiben sowohl die sanften als auch die intensiven Trocknungsprozesse innerhalb der zulässigen Temperaturgrenzen des Fotoresists.
Der Trockner ist für Reinraumbedingungen geeignet (Klasse 1–100). Er verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie einen laminierten Luftstrom, der eine Partikelbildung verhindert. In der Praxis bedeutet das, dass der Trockner keine Defekte verursacht – er liefert einfach zuverlässige Trocknungsergebnisse.
Warum dieser Trockner in der Halbleiterfertigung geeignet ist
Bei der Herstellung von Integrierten Schaltkreisen befindet sich dieser Trockner genau dort, wo Geschwindigkeit und Präzision zusammenkommen. Er erreicht schnell den gewünschten Temperaturniveau, führt sowohl sanfte als auch intensive Trocknungsprozesse mit sehr kleinen Toleranzen durch und bewahrt dabei die Temperaturkonstanz über längere Zeit hinweg. Das Ergebnis sind konstante Ergebnisse bei der Herstellung der Wafer, weniger Nacharbeiten sowie stabile Erträge.
Da der Trockner schnell reagiert und nur die Bereiche erhitzt, die tatsächlich erhitzt werden müssen, wird der Energieverbrauch reduziert. Zudem ist seine Größe so gering, dass er problemlos in beengten Räumen untergebracht werden kann, ohne Platzprobleme zu verursachen.
Was man braucht, damit der Trockner richtig funktioniert
Die Integration des Trockners ist einfach. Allerdings benötigt man eine eigene Stromversorgung sowie saubere, trockene Komprimierluft, um die Reinigungs- und Entlüftungssysteme ordnungsgemäß zu betreiben. Planen Sie außerdem eine kurze Einrichtungsphase, um die Einstellungen an Ihren Fotoresist anzupassen.
Sobald alles eingestellt ist, kann der Trockner rund um die Uhr arbeiten – mit regelmäßiger Kalibrierung – und dabei immer wieder dieselben Trocknungsprofile liefern.