空気を温めるためにエネルギーを無駄にするのはやめましょう。ウェーハを乾燥させるためのより良い方法があります。 半導体製造工場では、カーボンニュートラルを実現するための圧力が高まっています。しかし、乾燥工程を見てみると、エネルギー効率の面で問題が多いです。依然として多くの工場で古式の対流型オーブンが...

半導体製造工場では、カーボンニュートラルの目標を達成するために大変な努力が求められています。しかし、実際にはウェーハを乾燥させる過程で、かなりのエネルギーが無駄に消費されているのです。 私はよくこんな光景を見かけます。依然として、大きな対流式オーブンや古めかしい加熱要素が使われているのです。これは...

なぜカーボンファイバーIRランプが半導体工場にとって有効なのか 正直言って、半導体工場における温度制御は非常に難しい課題です。古い方式の抵抗加熱システムは、エネルギーを無駄に消費してしまいます。ウェハ自体を加熱する代わりに、ウェハの周囲の空気を加熱しているだけなのです。 そこで私たちはカーボンファ...

ファブでの熱の無駄遣いをやめよう 正直に言って、ファブを運用しているとき、ウェーハに届かない1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。さらに悪いことに、それによってチャッシュがヒーターのように機能し、部屋の温度が上昇しないように空調装置が過剰に動作することになります。 原因は、通常のクォーツ...

なぜクォーツ製のシールドがファブラボ用のランプにとって重要なのか スマートファブを運営している方なら、正確な温度を維持するのがどれほど困難かご存知でしょう。そのために短波長の赤外線を利用していますが、ランプ自体が壊れやすいという問題があります。ここで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。これは...

なぜ、電力の無駄遣いを防ぐために金メッキされた反射器を使用するのか？ 半導体ウエハーの処理において、電力が漏れ出すことは、基本的に設計上の欠陥です。確かに、研磨されたステンレス鋼も赤外線をうまく反射しますが、ウエハー上で精密かつ高密度な加熱を行う場合には「十分」とは言えません。 だからこそ、私たち...

なぜ、グリーン製造にはIR硬化が最適なのか 正直に言えば、あの古い対流式オーブンはもはや時代遅れです。無鉛はんだの使用や環境に優しい接着剤の利用といった動きの中で、単に熱風を送り込むだけの旧来の方法ではもはや十分ではありません。正確な温度管理が求められます。そこで役立つのが赤外線（IR）硬化技術で...

なぜ、認定された赤外線硬化装置が最適なのか 私たちが開発した認定済みの赤外線硬化装置は、地球上で最も過酷な環境である半導体工場向けに作られています。鉛を含まず、地球に優しく、かつエネルギー効率の高い処理が求められます。しかし、同時に生産ラインの速度を低下させてはいけません。赤外線乾燥方式は、この点...

工場現場からの直接の声 実は、この産業用赤外線ヒーターは、高価な輸入製品の代わりとして作られました。品質や安定性を犠牲にすることなく、しっかりと機能する製品が欲しいと考えているエンジニアのためのものです。 つまり、高級ブランドと同じようなクリーンなスペクトル出力と優れた熱性能を実現しつつ、財務部門...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に生じる温度変動は、単なる仮定上の問題ではありません。これにより、線幅の揺らぎや接着力の低下、歩留まりの悪化といった問題が発生します。もしオーブンの温度制御が不安定になれば、被害を受けるのはウェーハです。私たちは、サイクルごとにその温度を安定させるために...