ファブでの熱の無駄遣いをやめよう 正直に言って、ファブを運用しているとき、ウェーハに届かない1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。さらに悪いことに、それによってチャッシュがヒーターのように機能し、部屋の温度が上昇しないように空調装置が過剰に動作することになります。 原因は、通常のクォーツ...

なぜクリーンルームで赤外線加熱方式を採用したのか 半導体工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てにおいて最も重要な要素です。わずかな汚れでも、大量の製品を台無しにしてしまいます。長年にわたり、対流式のオーブンが使われてきました。しかし正直なところ、部屋中に熱風を送り込むのは危険な方法で...