更好的半导体晶圆干燥方法
让我们来谈谈在清洗之后进行干燥和固化的难题。随着人们对无铅及环保标准的追求，传统的处理方式已经不再适用了。因此，我们选择了防水型红外灯。这种灯无需使用有毒的化学溶剂，同时还能降低整个干燥过程的碳足迹。 红外灯的原理 想象一下普通的对流式烤箱：它需要耗费大量能量来加热空气，而部件本身却很久才能感受到热量。这显然是一种浪费。 而红外灯则不同，它可以直接将能量传递到被处理的物体上，无需中间介质。由于我们处理的是含有水分的液体，所以必须使用防水元件。如果不这样做，水分就会渗入，石英外壳也会破裂，进而导致电路短路。没人希望在自己的工作日早晨遇到这种问题。 在保持环保的同时避免麻烦 当我们需要遵循无铅标准时，最不希望的就是引入新的污染物。而红外灯属于“干式”处理方式，无需使用那些挥发性有机化合物来加速干燥过程。我们可以利用短波或中波红外光来精准照射那些有水分和残留物的地方，从而快速蒸发它们，同时保持整体温度较低。这样一来，敏感的晶圆就不会因为热应力而变形或开裂。 当然，凡事都有取舍 不过，高功率的红外灯虽然能带来快速的干燥效果，但它们会产生很高的热量。如果设备没有良好的散热系统，这些热量就会积聚起来，甚至可能损坏机器的框架或传感器。这需要我们找到一个平衡点。 好消息是，我们设计的这些红外灯可以轻松替代那些老旧的加热元件。一旦更换后，设备的预热时间大大缩短，能源浪费也减少了。这样，我们就可以在不损失任何晶圆的情况下实现环保目标。