Di bilik pengeluaran, sistem penjadualan tidak akan berhenti beroperasi walaupun ada lampu yang rosak. Proses pemanasan seperti “soft bake”, “hard bake”, dan “post-exposure bake” dilakukan dalam lingkungan suhu yang tetap. Jika sumber haba gagal berfungsi, keseluruhan proses pengeluaran akan terjejas: profil fotorezist akan berubah, dimensi kritikal komponen juga akan berubah, dan akhirnya produk tersebut akan menjadi bahan buangan.
Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu inframerah yang digunakan untuk proses pemanasan ini dibina dengan menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Pilihan ini sesuai apabila diperlukan respons yang cepat serta hasil spektrum yang stabil, dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Matlamatnya adalah untuk mencapai keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C pada peringkat wafer. Ini dicapai melalui penggunaan lampu yang telah dikalibrasi dengan betul, serta sistem kawalan suhu yang memastikan suhu tetap stabil tanpa berlaku penyimpangan.
Lampu ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan dan komponen yang digunakan pula dipilih agar penghasilan zarah-zarah kecil dapat dikurangkan. Pemancar lampu ini direka untuk bertahan lama—lebih dari 5,000 jam operasi tanpa penurunan prestasi melebihi 5%. Seluruh komponen lampu ini direka agar hasil pengeluaran tetap konsisten, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Mengapa ia berkesan
Dalam proses litografi dan pemprosesan fotorezist, suhu pemanasan memainkan peranan penting dalam proses penghapusan pelarut, perubahan sifat fizikal bahan, serta pemilihan bahan yang akan digunakan untuk proses pengikisan. Lampu ini mampu memberikan suhu yang tepat untuk proses pemanasan yang konsisten, tanpa adanya kawasan yang terlalu panas atau sebaliknya. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembetulan, masa proses yang lebih efisien, dan hasil pengeluaran yang lebih boleh diramalkan.
Dalam proses pengeluaran yang berterusan tanpa henti, kepercayaan terhadap kebolehpercayaan peralatan sangat penting. Kami mereka bentuk lampu ini agar dapat memenuhi keperluan tersebut, supaya jadual pengeluaran tetap berjalan seperti biasa, tanpa gangguan akibat kerosakan peralatan. Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat—tanpa perlu menggunakan tenaga yang banyak, sambil tetap memastikan stabiliti suhu semasa proses pemanasan.
Perkara yang perlu diketahui
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian yang tepat agar lampu tersebut sesuai dengan geometri bilik pengeluaran. Pastikan juga bahawa bekalan kuasa dan antaramuka sambungan lampu tersebut sesuai dengan spesifikasi peralatan yang digunakan. Lampu ini menghasilkan haba yang tinggi, jadi pastikan terdapat lapisan pelindung yang mencukupi, sistem keselamatan yang efektif, serta sistem penyejukan yang baik sebelum lampu tersebut digunakan.
Rancanglah proses kalibrasi awal untuk setiap proses pemanasan, agar keseragaman suhu dapat dicapai. Selepas itu, sistem akan tetap berfungsi dengan baik tanpa memerlukan kalibrasi yang berulang-ulang.