Di bilik pengeluaran, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk menyebabkan perubahan ketebalan garis pada permukaan wafer, sehingga menjadikan produk tersebut tidak boleh digunakan. Kestabilan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan; ia merupakan syarat penting dalam proses pengeluaran ini. Kami telah mereka pemanas khas untuk memastikan keseragaman suhu pada tahap wafer, iaitu dalam lingkungan ±0.1°C untuk substrat berukuran 150 mm dan 200 mm.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami menggunakan penyinar halogen dan NIR bersama-sama dengan reflektor kuarsa untuk mengarahkan tenaga ke tempat yang diperlukan, sekaligus mengekalkan suhu yang stabil. Ketepatan suhu dapat dicapai pada tahap ±0.5°C untuk julat suhu dari 90°C hingga 250°C. Dengan cara ini, proses pembakaran dapat berjalan dengan lancar tanpa masalah. Keserasian dengan ruang bersih kelas 1–100 dicapai melalui penggunaan bahan yang menghasilkan gas yang sangat sedikit, sambungan yang ketat, serta tiada penjanaan zarah semasa proses pemanasan. Prestasi pemanas ini tetap stabil walaupun selepas 5,000 jam penggunaan, dengan perubahan intensiti kurang dari 5%.
Inilah sebabnya mengapa perkara ini penting dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresist: budget haba yang digunakan sangat ketat. Pemanas kami memastikan keseragaman profil suhu dari satu pengeluaran ke pengeluaran yang lain, sekali gus mengurangkan variasi ketebalan garis pada permukaan wafer dan mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembaikan. Proses pemanasan yang cepat dapat memendekkan masa yang diperlukan, manakala ketepatan yang tinggi pula membantu mengurangkan penggunaan tenaga. Kebolehpercayaan pemanas ini terbukti melalui pengurangan gangguan yang tidak dijangka, serta jumlah zarah yang konsisten pada permukaan wafer.
Beberapa perkara praktikal yang perlu dipertimbangkan: Pemanas ini memerlukan sumber kuasa yang sesuai serta alat pengukur suhu yang tepat untuk memastikan prestasi yang optimum. Jika pemanas ini digunakan dalam sistem lama, mungkin diperlukan sedikit penyesuaian mekanikal serta pengaturan semula parameter yang digunakan. Pastikan pemasangan pemanas ini sesuai dengan standard ruang bersih, dan pastikan budget haba yang digunakan mencukupi untuk menampung kemerosotan prestasi pemanas tersebut. Kami menyediakan data berkaitan kemerosotan prestasi pemanas ini agar anda dapat mengawal proses pengeluaran dengan lebih baik.