Di ruang pengeluaran, perubahan suhu bukanlah sesuatu yang teoretikal semata-mata; ia akan berlaku dalam bentuk perubahan lebar garis dan kesan negatif terhadap kualiti produk. Dalam proses RTP, lampu merupakan komponen utama yang digunakan untuk mengawal suhu. Jika profil suhu berubah, maka profil fotoresist juga akan terjejas, dan ini akan menyebabkan pembaziran tenaga tanpa sebarang manfaat.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan lampu halogen jenis inframerah gelombang pendek untuk proses RTP, agar silikon dapat menyerap haba dengan cepat. Ini membolehkan kadar peningkatan suhu berlaku dalam masa beberapa saat sahaja, tanpa berlaku lonjakan suhu yang berlebihan. Di kawasan aktif, suhu wafer kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C. Kawalan ketat seperti ini memastikan kualiti produk tetap konsisten. Selain itu, struktur lampu dan filamen direka khas agar outputnya tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti kurang dari 5%. Output lampu perlu disesuaikan dengan kapasiti haba proses tersebut: lebih cepat apabila diperlukan proses pemanasan yang cepat, dan dikawal dengan baik semasa proses pemanasan biasa.
Mengapa ia berkesan dalam pengeluaran
Kita bekerja di bilik bersih kelas 1–100, jadi jumlah zarah debu bukanlah masalah yang perlu dibimbangkan. Lampu-lampu ini direka untuk mengelakkan kemunculan zarah debu semasa proses pemanasan, sehingga tidak ada masalah dengan bilik atau wafer tersebut. Ketepatan suhu antara setiap batch pengeluaran membantu mengurangkan keperluan untuk ujian semula dan pembaziran bahan.
Ketepatan suhu yang tinggi bermakna lebih sedikit produk yang rosak akibat perbezaan suhu di tepi wafer. Output yang stabil pula bermakna kita tidak perlu membazir tenaga untuk menyesuaikan suhu secara berlebihan. Memandangkan lampu ini bertindak balas dengan cepat, kita boleh memendekkan masa pengeluaran dan mengurangkan kos pengeluaran setiap wafer.
Perkara yang perlu diperhatikan
Pemasangan lampu ini agak mudah, tetapi prestasinya bergantung pada penyesuaian yang tepat, terutamanya laluan cahaya dan reflektiviti bilik tersebut. Selepas menukar lampu, beri masa yang cukup untuk lampu tersebut mencapai suhu operasi yang stabil sebelum mengharapkan prestasinya kembali seperti biasa.
Pastikan kuasa dan spesifikasi sambungan lampu sesuai dengan platform RTP yang digunakan, serta pastikan spektrum cahaya yang dihasilkan oleh lampu sesuai dengan sistem penyerap cahaya yang digunakan. Itulah langkah yang penting untuk memastikan profil suhu dapat diramalkan dengan tepat, bukan hanya secara kasar.