Pada permukaan litografi yang rata, perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja pun boleh mengganggu dimensi kritikal wafer tersebut, dan akibatnya keseluruhan kumpulan wafer tersebut akan rosak. Anda tidak memerlukan haba yang terlalu tinggi; yang diperlukan hanyalah haba yang sesuai dengan spesifikasi yang ditetapkan, dari satu sesi pembakaran ke sesi yang lain.
Apa yang telah kami bina, dan mengapa ia penting
Kami telah membina pengering inframerah jenis kompak ini dengan pengeluhradiasi gelombang sederhana dan sistem pemanasan berbasis kuarsa. Dengan cara ini, suhu di seluruh permukaan wafer dapat dikawal pada tahap ±0.1°C. Sistem kawalan tertutup memastikan suhu tetap stabil, sehingga proses pembakaran berjalan dalam lingkungan suhu yang sesuai untuk fotoresist.
Pengering ini juga sesuai untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, dan aliran udara yang teratur memastikan tiada zarah debu terbentuk. Dengan kata lain, pengering ini tidak akan menambahkan kecacatan pada wafer. Ia hanya memberikan hasil pembakaran yang konsisten.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan dalam proses pembuatan IC
Dalam proses pembuatan IC, pengering ini sangat berguna kerana ia mampu mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat. Ia juga mampu melakukan proses pembakaran dengan ketepatan yang tinggi, dan memastikan suhu tetap stabil walaupun untuk kumpulan wafer yang besar. Hasilnya adalah kawalan diameter wafer yang lebih baik, pengurangan jumlah wafer yang perlu diperbaiki, serta kadar pengeluaran yang stabil.
Oleh kerana pengering ini bertindak balas dengan cepat dan hanya memanaskan bahagian yang memerlukan pemanasan, penggunaan tenaga dapat dikurangkan. Selain itu, saiz pengering ini cukup kecil sehingga ia boleh diletakkan di ruang yang sempit tanpa menyebabkan masalah ruang.
Apa yang diperlukan untuk membuatnya berfungsi dengan baik
Proses integrasinya mudah, tetapi anda memerlukan litar kuasa khusus serta udara bertekanan yang bersih dan kering untuk memastikan sistem penyaringan udara berfungsi dengan baik. Lakukan ujian pendek untuk menyesuaikan tetapan pengering agar sesuai dengan jenis fotoresist yang digunakan.
Setelah disetel dengan betul, pengering ini boleh beroperasi 24/7, dengan kalibrasi yang berkala, dan akan terus menghasilkan profil pemanasan yang sama, dari satu kumpulan wafer ke kumpulan wafer yang lain.