에바테크 증발기 가열 램프

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 온도가 얼마나 빨리 변할 수 있는지 아시죠. 단 0.5도라는 약간의 오차만 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. Evatec의 증발기용 가열 램프는 바로 이러한 상황을 위해 설계된 것으로, 웨이퍼 전체에 걸쳐 마...