청결한 환경을 유지하기: 클래스 100 환경에서의 가열 방법
클래스 100급 청정실에서 작업할 때, 가열의 목적은 단순히 온도를 높이는 것이 아닙니다. 중요한 것은 히터가 공기 중에 어떤 물질들을 방출하는지입니다.
대부분의 일반적인 적외선 램프는 처음 몇 시간 동안 휘발성 유기화합물(VOCs)과 미세한 이물질들을 방출합니다. 만약 초고순도 작업을 한다면 이는 큰 문제가 됩니다. 우리는 램프가 실내로 들어오기 전에 재료 자체에서 문제를 해결합니다.
비결은 유리에 있습니다.
우리는 일반적인 붕규산 유리 대신 합성 융합 석영을 사용합니다. 이는 고순도의 석영으로, 온도 변동에도 견딜 수 있습니다. 균열이 생기거나 부서지지도 않으며, 성능도 저하되지 않습니다.
하지만 그だけ으로 끝나지 않습니다. 모든 표면을 여러 단계의 화학 처리를 거쳐 유기물 잔여물을 제거합니다. 그렇게 하면 “발열” 단계를 건너뛸 수 있습니다. 웨이퍼에 이물질이 달라붙지 않고, 광학 부품도 손상되지 않습니다. 그저 깨끗한 열만이 생성됩니다.
설계의 세부 사항
작은 공간 안에 많은 열을 보내기 위해, 우리는 정밀하게 설계된 필라멘트를 사용합니다. 또한 연결 부품에도 많은 주의를 기울입니다. 보통 R7나 SK15 같은 부품들을 사용합니다.
왜일까요? 연결 부품이 느슨하면 큰 문제가 생깁니다. 그로 인해 국부적으로 아크가 발생하고 열이 급격히 상승하여 석영 씰이 파괴될 수 있습니다. 그래서 우리는 허용 오차를 최소화하여 이러한 문제를 방지합니다.
기억해야 할 한 가지…
이러한 고출력 램프는 엄청난 양의 복사 에너지를 방출합니다. 이는 공정에는 유익하지만, 환기 시스템에는 부담이 됩니다.
만약 이러한 램프들을 좁은 공간에 설치한다면, 반드시 쿨링 팬이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 공기가 순환되지 않으면 그 열이 HVAC 시스템으로 다시 들어가서 온도 조절을 망칠 수 있습니다.
우리는 이러한 램프들을 반도체 및 항공우주 산업에서 간단히 교체할 수 있도록 설계했습니다. 배선을 연결하고 PID 컨트롤러를 설정하기만 하면 되며, 오염에 대한 걱정은 할 필요가 없습니다.