트롤리 히터의 성능을 최대한 활용하는 방법
반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 운반용 트롤리 위에 있는 웨이퍼를 가열해야 하는데, 에너지를 정확히 필요한 곳에 전달하는 것은 생각보다 훨씬 어렵습니다.
대부분의 경우, 열이 제대로 전달되지 않고 그냥 사방으로 흩어집니다. 그 결과, 램프에서 나온 열이 웨이퍼가 아닌 주변의 하우징이나 공기를 가열하게 됩니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라 설비 관리에도 문제가 됩니다.
비결은 바로 금입니다.
우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용합니다. 솔직히 말해서, 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 열의 98% 이상이 다시 반사됩니다. 그래서 에너지가 사방으로 퍼지는 것이 아니라, 집중된 형태로 전달됩니다.
가장 좋은 점은, 와트수를 높이지 않아도 웨이퍼에 더 많은 열이 전달된다는 것입니다.
이렇게 하면 트롤리 전체의 성능이 크게 향상됩니다. 에너지 낭비를 줄일 수 있으므로, 낮은 전력으로도 목표 온도를 달성할 수 있습니다.
또한, 장치의 다른 부분들도 시원하게 유지됩니다. 만약 적절한 반사판 없이 그냥 고출력을 사용한다면, 청정실 내의 다른 부품들이 손상될 위험이 있습니다. 게다가, 우리는 기하학적 구조를 조정하는 데 많은 시간을 들였습니다. 우리는 균일한 열 분포를 원합니다. 웨이퍼가 불균등하게 팽창하는 것을 방지하기 위해서죠.
이러한 장치들을 설치하는 것은 비교적 간단합니다. 기존의 트롤리 시스템에 그대로 장착될 수 있도록 설계되어 있습니다. 에너지가 웨이퍼에 정확히 전달되도록 초점을 잘 맞춰줍니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다.
금은 까다로운 물질입니다. 반사면에 기름이나 화학물질이 묻으면 열 분포가 변할 수 있습니다. 처음에는 거의 눈에 띄지 않지만, 나중에는 웨이퍼 전체의 온도가 균일하지 않다는 것을 알 수 있습니다.
그럴 때는 당연히 전력을 높이고 싶은 유혹이 생깁니다. 하지만 그러면 안 됩니다. 그렇게 하면 히팅 요소가 손상될 수 있습니다. 반사판을 깨끗하게 유지한다면, 시스템이 모든 작업을 대신 해줄 것입니다.