クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには
半導体製造現場で作業を行う際、「温度制御」だけでは不十分です。真の問題は、汚染です。クラス100の環境では、わずかなポリマーの破片やほこり一粒だけでも、ウェーハの品質を損ない、作業が台無しになってしまいます。
そのため、私たちは適当なヒーターを使うのではありません。高純度の石英製の赤外線ランプと、テフロンで絶縁された配線を組み合わせて使用します。これが重要な理由です。
高純度石英の利点
ほとんどの石英ランプには金属的不純物が含まれています。高温になると、その不純物が溶出してしまいます。半導体製造においては、これは大きな問題です。
そこで、私たちは合成された高純度の石英を使用します。このランプは短波長の赤外線を利用しており、エネルギーを直接基板上に照射します。周囲の空気を加熱する必要がないので、床からほこりが舞い上がることもありません。
配線が問題となる理由
実際、配線が最初に故障する部分です。
通常のPVCやシリコーン製の被覆を使うと、高温になると発煙し始めます。そうすると、揮発性有機化合物が放出され、シリコンに付着してしまいます。これは大変な問題です。
そのため、私たちはリード線にテフロン（PTFE）を使用します。テフロンは高温でも固形のままで、ガスを放出しません。化学的に不活性なので、真空状態でも高温環境でも問題ありません。漏れもなく、予期せぬ問題も起きません。
注意すべき点
これらのランプは、狭い空間に多くの熱を集中させる仕組みになっています。効率的ではありますが、取り付けブラケットには注意が必要です。冷却システムが周囲の熱に対応できない場合、ランプのケースが変形してしまうことがあります。
私たちは、既存のヒーターに簡単に交換できるように設計しています。粒子を飛ばさず、迅速に目標温度に到達する光源です。
電源のワット数がランプの要求に合っているかを必ず確認してください。そうでないと、フィラメントが早く劣化してしまいます。