なぜIRエミッターにはより良いエンドキャップが必要なのか 半導体製造工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、正確な加熱ができるかどうかが、装置が正常に動作するかどうかを決定します。私たちはウェーハの温度を一定に保つためにIRエミッターを利用していますが、問題点があります。それは、加熱素子が...

粉塵の発生を防ぐ：クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか？それは、ほとんどのヒーターが実際には微...