دیگر اجازه ندهید که خرابی لامپها، ویفرهای شما را از بین ببرد!
وقتی که مشغول فرآیند پخت ویفرها در شرایط بار سنگین هستید، خرابی لامپ یک فاجعه است. مسئله فقط توقف موقت دستگاه نیست؛ اگر لوله کوارتزی خراب شود، تکههای شیشهای و ذرات هالوژنی مستقیماً روی ویفرها میافتند. این امر باعث از بین رفتن فوری ویفرها میشود. محمولههای گرانقیمت، در عرض یک لحظه از بین میروند.
ما راهی پیدا کردیم تا از وقوع این مشکل جلوگیری کنیم؛ یعنی با ساخت یک مانع فیزیکی و یک غلاف با بازتاب بالا، از ورود ذرات به ویفرها جلوگیری کردیم.
نحوه کمک کنندگی رفلکتور
ما از آلومینیوم با پوشش طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم تا انرژی مادون قرمز را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی سطح ویفر، هدایت کنیم.
اما نکته مهم این است که این روش فقط برای افزایش کارایی نیست؛ چون حرارت را به خوبی متمرکز میکنیم، میتوانیم لامپها را با توان کمتری نیز استفاده کنیم و همچنان دمای لازم برای پخت ویفرها را حاصل کنیم. کمتر شدن فشار حرارتی بر لولههای کوارتزی، به معنای کاهش احتمال خرابی آنها است.
کنترل آلودگیها
رفلکتور را میتوان یک سپر ایمنی در نظر گرفت؛ لامپ را در یک غلاف با دقت بالا قرار میدهیم تا ذرات خراب شده را در خود نگه دارد. اگر لوله کوارتزی خراب شود، غلاف بخش عمدهای از ذرات را جذب میکند تا به ویفرها نرسد.
همچنین از کوارتز با کیفیت بالا و انتهایهای تقویتشده برای مقابله با انبساط و انقباض مداوم استفاده میکنیم. یک نکته مهم این است که به منبع تغذیه دستگاه توجه کنید؛ بیشتر خرابیهای زودهنگام ناشی از تغییرات ناگهانی ولتاژ است، پس سعی کنید ولتاژ را ثابت نگه دارید.
معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ اضافه کردن سپر و رفلکتور، باعث میشود که قسمت گرمایشی دستگاه کمی بزرگتر شود. همچنین، این امر باعث افزایش جرم حرارتی دستگاه میشود؛ بنابراین برای رسیدن به دمای لازم، زمان بیشتری لازم است. احتمالاً باید زمانهای لازم برای رسیدن به دمای لازم را تنظیم کنید.
ما این دستگاهها را برای خطوط تولید ۲۴/۷ ساختهایم؛ جایی که آلودگی میتواند مشکلات بزرگی ایجاد کند.
اگر قصد استفاده از این دستگاهها در دستگاههای قدیمی را دارید، حتماً فاصلههای موجود را بررسی کنید؛ اگر فاصله کم باشد، جریان هوا مختل خواهد شد. این امر باعث گرم شدن بیش از حد لامپها میشود، که دقیقاً همان چیزی است که ما میخواهیم از آن جلوگیری کنیم.