متوقف کردن تولید گرد و غبار: چگونه بتوان از گرمایش مادون قرمز در اتاقهای پاکسازی شده کلاس ۱۰۰ استفاده کرد؟
اگر تا به حال سعی کردهاید از یک گرمکن مادون قرمز استاندارد در اتاقهای پاکسازی شده کلاس ۱۰۰ استفاده کنید، میدانید که چقدر این کار دشوار است. وقتی که گرمکن را روشن میکنید، ناگهان ویفرها یا لنزها خراب میشوند. چرا؟ چون اکثر گرمکنها در واقع منبع تولید ذرات هستند؛ این ذرات باعث خرابی محصولات میشوند.
ما راهی برای جلوگیری از این مشکل پیدا کردیم. راز آن بسیار ساده است: استفاده از کوارتز با خلوص بالا و آلومینیوم صیقلی.
راز کوارتز
بیشتر شیشهها نمیتوانند در برابر گرما مقاومت کنند؛ این موضوع ممکن است خطرناک باشد، زیرا ذرات کوچکی تولید میشود که میتوانند محصولات را خراب کنند. ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا برای ساخت لامپها استفاده کردیم؛ این کوارتز نه تنها در برابر شوک حرارتی مقاومت بهتری دارد، بلکه تمیز نیز میماند. هیچ ذرهای تولید نمیشود و هیچ ترکیبات شیمیایی عجیبی در هوا پخش نمیشود. در نتیجه، گرمای یکنواخت و تمیزی به دست میآید.
چرا بازتابندهها مهم هستند؟
لامپ به تنهایی گرما را به همه جا میفرستد؛ این کار باعث هدررفت انرژی و ایجاد مشکلات میشود. برای حل این مشکل، از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنیم تا تمام انرژی را به محل مناسب هدایت کنیم.
اما نکته مهم این است که نمیتوان از رنگ یا پوششهای پودری استفاده کرد؛ زیرا در دماهای بالا، این مواد شروع به دود کردن میکنند. در اتاقهای پاکسازی شده، این موضوع فاجعهبار است. به جای آن، از آلومینیوم صیقلی استفاده میکنیم؛ این ماده از نظر شیمیایی بیاثر است و بدون تولید هیچ ذرهای، کار خود را انجام میدهد.
مزایا و معایب استفاده از این روش
باید صادقانه بگویم که هزینه استفاده از این روش بالاتر است؛ کوارتز با خلوص بالا و آلومینیوم صیقلی، ارزانتر از فولاد یا قطعات رنگشده نیستند. همچنین، نیاز به تمیزکاری بیشتری وجود دارد؛ باید قبل از استفاده از این قطعات، آنها را با محلول IPA تمیز کرد. حتی یک اثر انگشت روی بازتابنده نیز میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود که در نهایت باعث خرابی سطح لامپ میشود.
نکته آخر: باید منبع تغذیه لامپ را پایدار نگه داشت؛ اگر ولتاژ ناگهانی اتفاق بیفتد، کوارتز میتواند ترک بخورد. در اتاقهای پاکسازی شده کلاس ۱۰۰، لامپ شکسته نه تنها یک قطعه خراب است، بلکه باعث توقف کامل فرآیندهای تولید میشود. این روش، روش خوبی برای گذراندن روز جمعه نیست!