در خط تولید، مرحله خشک کردن لایه سولدر ماسک، یک توقف نیست؛ بلکه یک مرحله ضروری برای ادامه فرآیند تولید است. اگر دمای فر تغییر کند، پروفایل رزیستور فتوگرافیک نیز تغییر خواهد کرد و این امر باعث مشکلاتی در فرآیند لیتوگرافی میشود. ما این سیستم را با توجه به همین شرایط طراحی کردهایم.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما تنظیم دما را در سراسر ویفر، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد، حفظ میکنیم؛ بنابراین هر بخش از ویفر، همان میزان حرارت را دریافت میکند. لامپهای کوارتز-هالوژن، پاسخ سریع و پایداری برای فرآیندهای خشک کردن وجود دارند؛ همچنین، این لامپها باعث کاهش زمان فرآیند میشوند، بدون اینکه کنترل بر فرآیند از بین برود. اتاق فرآوری، مطابق استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، تمام مسیرهای هوایی به گونهای طراحی شدهاند که تولید ذرات در آنها صفر باشد. قابلیت تکرارپذیری کنترل دما، در حد چند میلیثانیه است؛ این امر باعث میشود نتایج تولید، از لین به لین و از محموله به محموله، یکسان باشد.
چرا این سیستم میتواند ۷ روز در هفته، ۲۴ ساعت در روز کار کند؟
در شرایط کار ۷ روز در هفته، ۲۴ ساعت در روز، قابلیت اطمینان، یک معیار نیست؛ بلکه بخشی از برنامه کاری است. این سیستم بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای کار میکند؛ همچنین، قطعات مورد استفاده در این سیستم، برای کار در شرایط طولانیمدت طراحی شدهاند و میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت بدون نیاز به تعمیر کار کنند. کاهش مواقع توقف، منجر به بهرهوری پایدار و توانایی پیشبینیپذیری میشود. دقت این سیستم، باعث کاهش مواد باکیفیت پایین و مواد باکیفیت بالا میشود؛ همچنین، سرعت فرآیند خشک کردن، مصرف انرژی را کاهش داده و زمان فرآیند را کوتاه میکند.
جزئیات عملی که نیاز دارید:
برای نصب این سیستم، نیاز به مسیرهای تخلیه هوای مناسب و تغذیه برق با کنترل دقیق ولتاژ وجود دارد؛ طول عمر و پایداری لامپها نیز به این موارد بستگی دارد. این سیستم از روشهای استاندارد برای کار با ویفرها و رابطهای SECS/GEM استفاده میکند؛ اما برای استفاده از آن در سیستمهای قدیمی، ممکن است نیاز به زمان کوتاهی برای تنظیم پارامترهای سیستم باشد. لطفاً این موضوع را از قبل در نظر بگیرید؛ تا سیستم بتواند روز به روز، به درستی کار کند.