دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در دستگاههای شما هدر برود!
باید صادق باشیم: وقتی که یک دستگاه را در حال کار قرار میدهیم، هر وات انرژی که به واقع به ویفر نمیرسد، در واقع هدررفت پول است. علاوه بر این، این امر باعث میشود که بدنه دستگاه به یک دستگاه گرمایشی تبدیل شود؛ در نتیجه سیستم تهویه مطبوع مجبور میشود بیشتر کار کند تا از گرم شدن بیش از حد اتاق جلوگیری کند.
لامپهای کوارتز معمولی، عامل اصلی این مشکل هستند؛ زیرا آنها انرژی را در همه جهات تابش میدهند. در سیستمهای دقیق، حدود نیمی از این گرما به سمت اشتباهی میرود؛ یعنی مستقیماً به داخل بدنه لامپ برمیگردد، نه به سمت محصول.
جادوی طلا
برای رفع این مشکل، از یک لایه طلا بر روی پشت لامپ استفاده میکنیم.
چرا طلا؟ چون طلا در بازتاب طیفهای مادون قرمز بسیار مؤثر است. به جای اینکه فوتونها به سمت تجهیزات شما بروند، لایه طلا آنها را به سمت ویفر هدایت میکند.
در نتیجه، پرتوی گرم تمرکزیافتهای خواهیم داشت. این روش سادهای است، اما باعث میشود که گرمای بیشتری به سطح ویفر برسد، بدون اینکه نیاز به مصرف انرژی بیشتری باشد.
چند نکته مهم
البته، داشتن چگالی انرژی بالاتر خوب به نظر میرسد، اما باید مراقب گرادیانهای حرارتی باشید.
اگر لایه طلا خیلی ضخیم باشد یا لامپ خیلی نزدیک باشد، نقاط گرم خواهید داشت. و همانطور که میدانید، نقاط گرم میتوانند باعث تغییر شکل ویفر نازک شوند. همچنین، حتماً کنترلکنندههای PID خود را بررسی کنید؛ زیرا گرما سریعتر اعمال میشود، پس کنترلکنندهها باید برای این شرایط آماده باشند.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای معمولی شوند؛ این کار کار شما را آسانتر میکند. فقط لطفاً ابتدا اندازه فیزیکی لامپ را بررسی کنید؛ زیرا لامپهای پوششدار ممکن است در هنگام گرم شدن، کمی تغییر شکل دهند.
جایی که این روش واقعاً مؤثر است
این روش برای کارهایی مناسب است که در آنها «سرعت و یکنواختی» نه تنها یک هدف، بلکه یک الزام است.
بیشترین فواید این روش را در فرآیندهای خشک کردن و تبدیل مواد به حالت گرم میتوان مشاهده کرد؛ زیرا گرمای لازم در جای درست تأمین میشود، و در نتیجه زمان لازم برای انجام کار کاهش مییابد.
یک نکته آخر: حتماً مطمئن شوید که فنهای خنککننده شما قادر به مقابله با گرمای تمرکزیافته در نقاط مربوطه باشند. انرژی زیادی در فضای کوچکی تولید میشود، پس باید فضای کافی برای خنک شدن وجود داشته باشد.