چگونه از گرمکنهای موجود در واگنهای حمل و نقل، بهترین استفاده را کنیم؟
اگر تا به حال در اتاقهای پاکسازی نیمههادی کار کرده باشید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. برای گرم کردن ویفرها، نیاز به استفاده از گرمکنهایی وجود دارد؛ اما رساندن انرژی به دقت به جای مناسب آن، کار سختی است.
در اکثر مواقع، انرژی گرمایی فقط در اطراف پخش میشود؛ یعنی به جای گرم کردن ویفر، فقط قسمتهای اطراف را گرم میکند. این کار باعث هدررفت انرژی و مشکلاتی برای سیستم شما میشود.
راز موفقیت، استفاده از طلاست.
ما از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در پرتوهای مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد. این منعکسکنندهها بیش از ۹۸٪ از انرژی گرمایی را بازمیتابانند؛ بنابراین انرژی در جهت مشخصی هدایت میشود.
نکته خوب این است که میتوانید گرمای بیشتری روی ویفر ایجاد کنید، بدون اینکه نیاز به افزایش توان الکتریکی باشد.
این کار تفاوت بزرگی در عملکرد کل سیستم ایجاد میکند؛ زیرا دیگر نیازی نیست با انرژی بیشتری کار کنید تا دمای مورد نظر را حاصل کنید.
همچنین، این روش باعث میشود سایر قطعات سیستم خنک بمانند. اگر بدون استفاده از منعکسکنندههای مناسب، انرژی زیادی را به سیستم وارد کنید، ممکن است قطعات اطراف آسیب ببینند.
تنظیم این سیستمها کاملاً ساده است؛ آنها به گونهای طراحی شدهاند که به راحتی در سیستمهای موجود نصب شوند. ما مطمئن میشویم که نقطه تمرکز انرژی درست باشد، تا گرما دقیقاً روی ویفر اعمال شود.
اما یک هشدار مهم…
طلا حساس است؛ اگر روغن یا مواد شیمیایی روی سطح منعکسکننده قرار بگیرد، توزیع انرژی گرمایی مختل خواهد شد. در ابتدا این تغییرات جزئی هستند، اما بعداً متوجه خواهید شد که دمای ویفر یکنواخت نیست.
تمایل این است که برای جبران این مشکل، توان الکتریکی را افزایش دهیم؛ اما این کار را نکنید. این کار باعث خراب شدن عناصر گرمایی سیستم میشود. فقط کافی است منعکسکنندهها را تمیز نگه دارید؛ سیستم خودش کار را انجام خواهد داد.