در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ضخامت خطوط روی ویفر شود؛ این امر میتواند منجر به از بین رفتن بخش قابل توجهی از محصولات تولید شده شود. پایداری دما یک مزیت نیست؛ بلکه جزء الزامات اساسی این فرآیند است. ما گرمکنهای خود را به گونهای طراحی کردهایم که یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، بر روی سطوح ۱۵۰ میلیمتری و ۲۰۰ میلیمتری، حفظ کند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از ساطعکنندگای موج کوتاه هالوژنی و نور مادون قرمز، همراه با بازتابندههای کوارتزی، استفاده میکنیم تا انرژی را در جای مناسب قرار دهیم؛ این کار باعث کاهش جرم حرارتی و پاسخ سریعتر سیستم میشود. تکرارپذیری دما در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد، در محدوده دمایی ۹۰ تا ۲۵۰ درجه سانتیگراد، امکان فرآیند پختن صحیح را فراهم میکند. سازگاری این دستگاهها با محیطهای پاک، به لطف استفاده از موادی با میزان گازهای خروجی بسیار کم، اتصالات دربسته، و عدم تولید ذرات در طول چرخههای حرارتی، ممکن میشود. خروجی این دستگاهها در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کاری، با نوسان کمتر از ۵٪، ثابت باقی میماند.
دلیل اهمیت این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست این است که محدودیتهای حرارتی بسیار سختگیرانه هستند. گرمکنهای ما، یکنواختی فرآیند را از یک بار تولید به بار دیگر حفظ میکنند؛ این امر باعث کاهش تغییرات ضخامت خطوط روی ویفر و کاهش نیاز به بازسازی محصولات میشود. سرعت بالای گرم شدن، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ همچنین، دقت بالا، مصرف انرژی را کاهش میدهد. قابلیت اطمینان این دستگاهها، منجر به کاهش مداخلات ناخواسته و حفظ تعداد ذرات یکنواخت روی ویفر میشود.
چند نکته عملی: این گرمکنها نیاز به منابع تغذیه مناسب و دستگاههای اندازهگیری دقیق دارند تا بتوان فرآیند را کنترل کرد. استفاده از این دستگاهها در سیستمهای قدیمی، ممکن است نیازمند تنظیمات مکانیکی جزئی و تغییراتی در پارامترهای فرآیند باشد. همچنین، باید محل نصب این دستگاهها با استانداردهای محیطهای پاک سازگار باشد؛ همچنین، باید محدودیتهای حرارتی مربوط به این دستگاهها نیز در نظر گرفته شود. ما دادههای مربوط به منحنی پیری این دستگاهها را در اختیار شما قرار میدهیم تا بتوانید فرآیند را تحت کنترل نگه دارید.