Eine bessere Methode zur Trocknung von Halbleiterwafern Lassen Sie uns über das Problem der Trocknung und Aushärtung nach dem Spülvorgang sprechen. Angesichts der neuen Anforderungen an bleifreie und umweltfreundliche Verfahren reichen die alten Methoden nicht mehr aus. Deshalb setzen wir auf wasserdichte Infrarotlampen. Sie ersetzen die schädlichen chemischen Lösungsmittel und reduzieren außerdem den Kohlenstoffausstoß während des Trocknungsprozesses.
Die Logik hinter dem Infrarot-Verfahren Denken Sie an einen herkömmlichen Konvektionsofen: Er verbraucht viel Energie, um die Luft im Inneren zu erhitzen – bevor der zu trocknende Gegenstand überhaupt Wärme spürt. Das ist verschwenderisch. Infrarotlampen hingegen senden die Energie direkt auf das Substrat – ohne Zwischenprodukte. Da es sich um Spülwasser handelt, verwenden wir wasserdichte Elemente. Andernfalls dringt Feuchtigkeit ein, die Quarzkammer kann zerbrechen – und plötzlich haben Sie einen Kurzschluss. Das möchte doch niemand am Dienstagmorgen erleben.
Umweltfreundlich arbeiten – ohne Stress Wenn man nach bleifreien Standards strebt, möchte man auf keinen Fall neue Schadstoffe einbringen. Das Infrarot-Verfahren ist ein „trockenes“ Verfahren – man benötigt keine flüchtigen organischen Verbindungen, um den Prozess zu beschleunigen. Wir nutzen kurzwelliges oder mittelwelliges Infrarotlicht, um genau die Stellen zu erreichen, an denen Wasser und Rückstände haften bleiben. Dadurch verdampft alles schnell – doch die Gesamttemperatur bleibt niedrig. Das ist wichtig, denn so werden die empfindlichen Wafer vor Deformationen oder Rissen durch thermische Belastungen geschützt.
Die Kompromisse (Denn nichts ist perfekt) Der Nachteil ist: Hochleistungs-Lampen sind zwar leistungsstark und ermöglichen eine schnelle Trocknung – doch sie werden sehr heiß. Wenn die Gehäuse nicht richtig belüftet werden, entstehen Probleme. Ohne geeignete Kühllüfter kann die Hitze dazu führen, dass der Maschinenrahmen deformiert oder die Sensoren beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtswunder. Die gute Nachricht: Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für die alten Heizelemente verwendet werden können. Dadurch entfallen die Wartezeiten bis zur Betriebsbereitschaft – und es wird keine Energie mehr verschwendet. Es ist also eine einfache Lösung, um die „grünen“ Ziele zu erreichen, ohne dabei auch nur eine Wafer zu verlieren.