Hören Sie auf, Energie für die Luft zu verschwenden – eine bessere Methode zum Trocknen von Wafern In den Halbleiterfabriken besteht Druck, kohlenstoffneutral zu werden. Doch wenn man sich die Trocknungsphase ansieht, stellt man fest, dass es dabei oft um enorme Energieverluste geht. Zu viele Anlagen verwenden immer noch herkömmliche Konvektionsöfen. Das ist im Grunde genommen so, als würde man versuchen, einen ganzen Raum zu heizen, nur um eine einzige Tasse Kaffee zu erwärmen – man verschwendet damit viel Energie, während man eigentlich nur das Wafer erwärmen möchte. Wie Infrarotwellen tatsächlich funktionieren Wir haben auf kurzwellige Infrarotlampen umgestellt – schließlich beeinflussen diese die Luft überhaupt nicht. Anstatt darauf zu warten, dass sich die Atmosphäre erwärmt, treffen die Photonen direkt auf die Oberfläche des Wafers und wandeln sich dort sofort in Wärme um. Es geht dabei sehr schnell – in Sekunden, nicht in Minuten, erreicht man die gewünschte Temperatur. Die Zahlen – und warum sie wichtig sind Wenn wir eine Fabrik auditen, schauen wir uns eines an: die Anzahl der Kilowattstunden pro Wafer. Durch den Einsatz von fokussierten Infrarotarrangements können wir diese enorme „thermische Masse“ eliminieren. Man muss nicht mehr gegen dicke Stahlwände ankämpfen. Zudem nutzen wir Pulswidtemodulation, um die Energie genau zu steuern. Das ist wie ein Dimmer statt eines einfachen Ein-/Ausschalters. So wird vermieden, dass die Temperatur zu hoch wird – und damit auch keine Probleme mit verformten Wafern entstehen. Das Beste daran: Der Energieverbrauch sinkt in der Regel um 20 % bis 30 %. Der Haken: Man kann sie nicht einfach so einsetzen Nun, hier liegt das Problem: Infrarotarrangements sind zwar leistungsstark, aber sie müssen in einem speziellen Gehäuse untergebracht werden. Man kann sie einfach nicht in ein altes Gehäuse stecken und schon ist alles in Ordnung. Wenn die Kühlsysteme nicht ausreichen, wird die von den Waferhaltern reflektierte Strahlung die Anlage zerstören. Entweder brennen die Lampen aus oder, schlimmer noch, wird das Substrat beschädigt. Der Umstieg auf Infrarottechnologie bedeutet also mehr als nur den Austausch einer Glühbirne. Es geht darum, den gesamten Energieverbrauch der Fabrik zu überprüfen und jene „Überhitzung“ zu beseitigen, die seit Jahren den Energieverbrauch erhöht hat.