Die Aufrechterhaltung der Sauberkeit: Die Realität der Heizung in Halbleiteranlagen Wer schon einmal in einem Reinraum der Klasse 100 war, kennt die Probleme. Es geht nicht nur um die Luftfilter – das eigentliche Problem sind die winzigen Partikel und Gase, die aus den Geräten austreten und alles durcheinanderbringen. Bei den Heizelementen reicht „fast sauber“ einfach nicht aus. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz sowie Goldbeschichtungen. Das ist die einzige Möglichkeit, eine vollständige Kontaminationsfreiheit zu erreichen. Warum wir Gold verwenden Denken Sie an eine herkömmliche Infrarotlampe: Sie strahlt Wärme überallhin ab. In einer Halbleiteranlage ist es jedoch sinnlos, den Chassis der Maschine zu erhitzen – das ist Energieverschwendung und verursacht außerdem Probleme. Um dieses Problem zu lösen, legen wir eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite des Quarztubes. Dieses Gold fungiert wie ein Spiegel – es lenkt die Infrarotenergie direkt auf die Siliziumwafer. Man fragt sich vielleicht, warum wir nicht einfach Aluminium verwenden. Der Grund: Aluminium oxidiert. Dadurch entstehen kleine Partikel, die für die Siliziumwafer gefährlich sind. Gold hingegen bleibt stabil, selbst bei extrem hohen Temperaturen. Die Bedeutung der Materialien Wir verwenden hochreinen Quarz, denn wir dürfen keine Ionen in das System gelangen lassen. Billiges Glas enthält Verunreinigungen, die bei hoher Temperatur in die Kammer eindringen können. Wir reinigen die Tuben gründlich, damit auf der Oberfläche absolut nichts mehr zurückbleibt. Im Inneren befindet sich der Glühfaden in Vakuum oder in einem mit Halogen gefüllten Raum. Dadurch bleibt der Quarz im Laufe der Zeit nicht dunkel. Dadurch bleibt die Temperatur konstant und gleichmäßig über die gesamte Länge der Lampe hinweg. Ein paar Dinge, auf die man achten muss Diese Lampen sind sehr leistungsstark. Da die Goldbeschichtung so viel Energie abgibt, erreicht die Zieloberfläche schnell die gewünschte Temperatur – wirklich sehr schnell. Deshalb müssen Sie bei der Auswahl der PID-Steuerungen sowie der Kühlsysteme vorsichtig sein. Wenn das Kühlsystem die Wärme nicht von den Enden der Lampe wegtransportieren kann, werden die Dichtungen oder Anschlüsse beschädigt. Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie als Ersatz für Ihre aktuellen Geräte geeignet sind. Überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Stromversorgung die für die schnellen Heizzyklen benötigte Leistung liefern kann.