Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Wafer zerstören!
Beim Trocknen von Wafern unter hohem Druck ist ein Defekt der Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine für kurze Zeit stillsteht. Wenn eine Quarztube platzt, fallen Glassplitter und Halogenabfälle direkt auf die Wafer. Das bedeutet sofortigen Ausschuss – teure Wafer sind in einem Augenblick zerstört.
Wir haben eine Lösung gefunden, um das zu verhindern: Wir bauen eine physische Barriere sowie eine hochreflektierende Hülle direkt in die Lampe ein.
Wie der Reflektor hilft
Wir verwenden goldbeschichtetes oder hochreines Aluminium, um die Infrarotenergie genau dorthin zu lenken, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Oberfläche der Wafer. Doch der eigentliche Vorteil ist, dass dadurch die Hitze besser kontrolliert werden kann. Dadurch können die Lampen mit einer niedrigeren Leistung betrieben werden, ohne dass die gewünschten Temperaturen nicht erreicht werden. Dadurch entsteht weniger Wärmestress auf den Quarzröhren – sie müssen also nicht ständig gegen den Stress jedes Zyklus ankämpfen, wodurch die Gefahr eines Defekts deutlich sinkt.
Vermeidung von Schäden
Denken Sie an den Reflektor als Schutzschild. Die Lampe sitzt in einer präzise gefertigten Hülle, die im Grunde genommen wie eine Falle funktioniert. Wenn eine Röhre doch versagt, fängt die Hülle den größten Teil der Schäden auf, bevor diese auf die Wafer gelangen können.
Wir verwenden außerdem hochwertigen Quarz mit verstärkten Enden, damit er den ständigen Ausdehnungs- und Zusammenziehungsvorgängen standhalten kann. Ein Tipp: Achten Sie auf die Stromversorgung. Die meisten vorzeitigen Defekte entstehen durch Spannungsspitzen – halten Sie daher die Stromstärke konstant.
Kompromisse
Nichts ist perfekt. Durch den Einsatz eines Schutzes und eines Reflektors wird der Heizekopf etwas größer. Zudem entsteht zusätzliche Wärmemasse – daher dauert es etwas länger, bis die gewünschte Temperatur erreicht wird. Sie müssen wahrscheinlich Ihre Timers anpassen, um dies auszugleichen.
Wir haben diese Lösungen für Anlagen entwickelt, bei denen eine kontinuierliche Arbeit 24/7 erforderlich ist – bei denen Verunreinigungen katastrophale Folgen haben könnten.
Falls Sie diese Lösungen in alte Anlagen einbauen möchten, überprüfen Sie unbedingt die Abstände zwischen den Komponenten. Wenn die Abstände zu klein sind, kann die Luftzirkulation gestört werden. Das führt zu Überhitzung an den Enden der Lampen – genau das wollen wir ja vermeiden.