Auf der Lithografiefläche ist es wichtig zu wissen, wie schnell eine fehlerhafte Trocknungsprozedur auftreten kann. Eine Abweichung von einem halben Grad reicht bereits aus, um die Kontrolle über die kritischen Dimensionen zu verlieren – und dadurch viele Bauteile unbrauchbar zu machen. Die Heizlampen von Evatec sind dafür konzipiert: Sie liefern Infrarotwärme mit einer Präzision von unter einem Millimeter auf der gesamten Wafer-Oberfläche. Dadurch sind die Ergebnisse der Trocknungsprozesse zuverlässig – von Schicht zu Schicht.
Was technisch wichtig ist:
Diese Lampen verwenden kurzwelliges Infrarotlicht, um die Wärmeenergie genau dorthin zu bringen, wo sie benötigt wird. Zudem ermöglichen sie eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Steuerung der Wärmeabgabe. Die Präzision von under einem Millimeter sorgt dafür, dass die Temperaturverteilung auf der Wafer-Oberfläche innerhalb enger Toleranzen bleibt. Dadurch bleiben sowohl die sanfte als auch die intensive Trocknungsprozesse konstant. In der Praxis bedeutet das weniger Schwankungen in der Linienbreite, eine geringere Defektdichte sowie einen Prozessablauf, der nicht beeinträchtigt wird. Wir konzipieren die Lampen so, dass ihre Leistung über tausende von Zyklen hinweg stabil bleibt – dadurch erhält man immer wieder ein gleichbleibendes Ergebnis.
Warum das in der Produktion funktioniert:
Bei den Prozessen der Verdampfung und Behandlung des Fotoresists muss die Wärme sauber sein – ohne Partikel oder unerwartete Temperaturgradienten. Die Lampen von Evatec funktionieren in Umgebungen der Klasse 1–100 zuverlässig, ohne Partikelbildung und mit geringer Gasemission. Die schnelle Reaktionsfähigkeit reduziert die Zeit, in der die Lampen ungenutzt bleiben – dadurch steigt die Produktivität und der Energieverbrauch wird gesenkt, ohne dass dabei an der Präzision eingegangen werden muss. Das Ergebnis sind konstantere Ergebnisse, weniger Nacharbeiten sowie Planungsmöglichkeiten für Wartungsintervalle.
Was man beachten muss:
Diese Lampen benötigen passende Halterungen sowie eine stabile Stromversorgung, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu gewährleisten. Wenn man die Lampen und Reflektoren außerhalb des empfohlenen Ausrichtungsbereichs einsetzt, verschiebt sich die heisse Zone. Beim Nachrüsten sollte man darauf achten, dass die Lampen zur Geometrie des Behälters sowie zu den Kühllimits passen. Zudem sollten Kalibrierungen regelmäßig durchgeführt werden. So kann die thermische Verteilung über alle Produkte hinweg konstant gehalten werden.