无需担心，就能让MEMS晶圆快速干燥 对MEMS传感器晶圆进行干燥处理其实是一件需要精确控制的技术活。虽然希望水分能尽快蒸发，但如果处理方式不当，就会破坏那些极其微小的结构。 大多数人都会用对流加热的方式来干燥晶圆，但这种方式效率很低。实际上，这种做法只是让空气和设备内壁变热，而晶圆本身却未必能迅...

别再浪费热量了：为什么镀金反射器如此重要 说实话，如果在晶圆加工过程中浪费能源，那显然是一种糟糕的设计。当使用高功率红外灯时，大量热量会向错误的方向散失，而非作用于晶圆表面。 这就好比试图用加热器来加热房间，但加热器却指向了墙壁。这时，镀金反射器就派上用场了。 为何选择黄金？ 你可能会问，为什么不...