利用镀金石英灯在100级洁净室中实现无污染加热
保持环境清洁:半导体加热的实际情况 如果你曾进入过100级洁净室,就会明白其中的规定有多严格。问题不仅仅在于空气过滤器,真正令人头疼的是那些看不见的微小颗粒和气体——它们会从设备中泄漏出来,从而破坏一切。对于加热元件而言,所谓的“几乎纯净”根本不够用。 因此,我们选择使用高纯度的合成石英以及金涂层...
带金制反射器的红外线灯泡
在智能工厂中实现精准控温
当试图将加热系统整合到现代高科技工厂中时,人们很快就会意识到,仅仅“增加热量”是不够的。这些热量必须被精确地输送到所需的位置,同时还要确保不会干扰工厂内的数据系统。
因此,我们采用红外线灯泡与金色反射器相结合的方式。这样做的目的是让尽可能多的光子照射到工件上。
为什么选择...
用于半导体的镀金红外灯
确保镀金红外灯能够正常工作
在处理半导体晶圆时,绝对不能有任何侥幸心理。这时,镀金红外灯就派上用场了。镀金层的作用类似于镜子,它可以将热量集中到晶圆表面,从而避免后部结构被过度加热。
不过,在高精度设备中,哪怕有极小的电流泄漏,都可能毁掉整批晶圆,或者让价值数百万美元的设备损坏。这无疑是所有人都不...