降低半导体加工中的时间成本：红外发射器与热风循环方式之比较

别再等待了：为什么红外发射器真的有效 如果你走进那些比较老的半导体工厂，仍然会看到许多依赖热空气循环来加热的装置。那是一种过时的方法。但说实话，使用强制空气加热效率极低——你实际上是在为让晶圆表面变暖而加热整个房间，这简直就是浪费时间。 改用红外发射器则完全不同。它不需要加热空气，而是直接利用辐射...