利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射通量

停止热量浪费：为什么镀金反射器如此有效 如果你在加热硅片时，能量却四处散失，那显然存在设计上的问题。大多数人会使用普通的铝制反射器，但问题在于：铝的吸热能力太强，结果就是灯具的壳体会被加热，而不是硅片本身。这无疑是一种浪费。 所以，我们才选择使用黄金。 黄金的优势 黄金之所以能成为更好的反射材料，...