半导体退火红外灯

在晶圆制造现场，当某个红外灯出现故障时，调度系统不会暂停流程。各种退火处理步骤——如软烘烤、硬烘烤以及曝光后的烘烤——都是在固定的温度范围内进行的。如果热源出现问题或失效，那么整个生产流程就会受到影响：光刻胶的参数会发生变化，关键尺寸也会出现偏差，最终导致产品报废。 技术上的关键点 我们设计的这种...