晶圆干燥炉定时器

在晶圆厂车间，错过软烘窗口或干燥时间漂移不能归结为文书问题，而是报废品。 光刻胶软烘和硬烘时间在工艺初期就决定了CD控制和附着力。在封装过程中，残留水分会在模塑和回流后表现为分层。 烘箱计时器不仅仅是秒表，它必须成为工艺的锚点。 技术要点 这款用于晶圆干燥烘箱的计时器，在烘烤和干燥周期中提供...