Evatec蒸发器加热灯

在光刻生产过程中，您知道，温度控制的重要性不言而喻。哪怕只有半度的偏差，都可能导致关键尺寸失控，从而造成大量产品报废。Evatec的蒸发器加热灯正是为应对这种压力而设计的——它能够以亚毫米级的精度将红外热量均匀地传递到晶圆上。这样一来，每次曝光后的光阻烘烤效果都能保持稳定。 从技术层面来看，这些灯...