利用红外加热系统降低半导体制造厂中的碳足迹

停止在空气加热上浪费能源：更有效的晶圆干燥方式 半导体制造厂面临着实现碳中和的压力。但就晶圆干燥这一环节而言，其能源效率往往很低下。许多工厂仍在使用传统的对流式烤箱。这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热——其实你只需要加热晶圆本身即可，却还要浪费大量能量来加热炉子壁面。 红外技术的原理 我们...