用于晶圆的高精度红外传感器

在线上，晶圆以极其有限的热预算进入烘烤站。软烘烤设定光刻胶轮廓。硬烘烤锁定图案的保真度。温度漂移几十分之一摄氏度，无法察觉的热点，都会导致线宽尺寸（CD）偏移。保护膜应力变化。缺陷漏检。翌日的良率评审往往指向温度不均匀性。 我们开发了一款精密红外传感器，直接测量晶圆表面温度，现场读取，满足光刻烘烤...