无需担心，就能让MEMS晶圆快速干燥 对MEMS传感器晶圆进行干燥处理其实是一件需要精确控制的技术活。虽然希望水分能尽快蒸发，但如果处理方式不当，就会破坏那些极其微小的结构。 大多数人都会用对流加热的方式来干燥晶圆，但这种方式效率很低。实际上，这种做法只是让空气和设备内壁变热，而晶圆本身却未必能迅...

停止让设备“承受”高温：更有效的控温方法 大多数普通加热元件都会将热量向各个方向散发——360度全方位发热。在空间有限的半导体生产环境中，这显然是个问题。那些多余的熱量会照射到设备的内部零件上，使得昂贵的设备变成一个巨大的“烤箱”。 这不仅浪费能源，还会导致设备部件变形。说实话，没人希望在对设备进...