利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射通量
停止热量浪费:为什么镀金反射器如此有效 如果你在加热硅片时,能量却四处散失,那显然存在设计上的问题。大多数人会使用普通的铝制反射器,但问题在于:铝的吸热能力太强,结果就是灯具的壳体会被加热,而不是硅片本身。这无疑是一种浪费。 所以,我们才选择使用黄金。 黄金的优势 黄金之所以能成为更好的反射材料,...
利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射能量传递
别再浪费热量了:为什么镀金反射器如此重要 说实话,如果在晶圆加工过程中浪费能源,那显然是一种糟糕的设计。当使用高功率红外灯时,大量热量会向错误的方向散失,而非作用于晶圆表面。 这就好比试图用加热器来加热房间,但加热器却指向了墙壁。这时,镀金反射器就派上用场了。
为何选择黄金? 你可能会问,为什么不...
利用红外加热系统降低半导体制造厂中的碳足迹
停止在空气加热上浪费能源:更有效的晶圆干燥方式 半导体制造厂面临着实现碳中和的压力。但就晶圆干燥这一环节而言,其能源效率往往很低下。许多工厂仍在使用传统的对流式烤箱。这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热——其实你只需要加热晶圆本身即可,却还要浪费大量能量来加热炉子壁面。 红外技术的原理 我们...