在智能工厂中实现精准控温 当试图将加热系统整合到现代高科技工厂中时，人们很快就会意识到，仅仅“增加热量”是不够的。这些热量必须被精确地输送到所需的位置，同时还要确保不会干扰工厂内的数据系统。 因此，我们采用红外线灯泡与金色反射器相结合的方式。这样做的目的是让尽可能多的光子照射到工件上。 为什么选择...

在光刻工厂中，光阻烘烤过程中的温度波动并非想象中的问题。这种波动会导致线宽变化、光阻附着力下降以及成品率降低。如果烤箱的加热参数出现偏差，那么受影响的就是晶圆本身。我们设计的红外灯能够确保每次烘烤过程中温度都保持稳定。 本质上，关键在于控制。这些红外灯能够发出短波红外光，响应速度快，光谱控制精度高...