陶瓷灯座 用于加热器

在晶圆厂车间，您清楚状况发展偏离预期的速度。光刻胶软烘过程中温度漂移0.5°C就足以影响线宽。干燥斜坡不稳定？这直接导致微桥缺陷。热量的重复性并非“可有可无”，而是工艺的核心。 我们为晶圆厂加热器设计的陶瓷灯座，旨在锁定红外加热的关键环节：晶圆干燥、光刻胶预烘和硬烘固化。 技术要点 陶瓷主体耐高温...