MEMS传感器晶圆干燥加热器

让我们来谈谈MEMS干燥过程中灯具损坏的问题吧。 如果你在运营高负荷的MEMS生产线，那么你肯定知道那种糟糕的情况：红外灯突然损坏了。 问题不仅仅是生产线因此而停止运转——虽然那已经很糟糕了——更严重的是随之而来的混乱状况。当石英管破裂时，玻璃碎片和钨沉积物会掉落到传感器晶片上，导致整批产品报废。...