标签为“审计”的页面如下 工厂干燥系统的能源审计 在半导体制造厂中减少碳排放:为什么红外线加热技术如此有效 目前,半导体制造厂面临着实现碳中和目标的压力。不过,如果我们仔细观察的话,就会发现,在晶圆干燥阶段,有大量的能量被浪费掉了。我经常看到,这些工厂仍然使用那些效率低下的对流式烤箱或传统加热元件。其实,这种做法非常浪费能源——因为实际上只需要加... 阅读更多
工厂干燥系统的能源审计 在半导体制造厂中减少碳排放:为什么红外线加热技术如此有效 目前,半导体制造厂面临着实现碳中和目标的压力。不过,如果我们仔细观察的话,就会发现,在晶圆干燥阶段,有大量的能量被浪费掉了。我经常看到,这些工厂仍然使用那些效率低下的对流式烤箱或传统加热元件。其实,这种做法非常浪费能源——因为实际上只需要加... 阅读更多