别让故障的灯光毁掉你的晶圆 在需要高负荷处理晶圆的场合，灯光出现故障简直就是一场灾难。这不仅仅是机器暂时停止运转的问题——如果石英管破裂，玻璃碎片和卤素残留物就会直接落在晶圆上，导致晶圆报废。那些价值不菲的晶圆瞬间就毁掉了。 我们找到了一种方法来避免这种情况：在灯组中加入物理屏障以及高反射率的外壳...

如何避免灰尘污染：如何在100级洁净室中使用红外线加热器 如果您曾经尝试在100级洁净室中使用普通红外线加热器，那您肯定知道那有多糟糕。一旦开始使用，您的晶圆或透镜就会立刻被损坏。为什么呢？因为大多数加热器其实都会产生大量颗粒物，这些颗粒物会污染产品表面。 我们找到了解决这个问题的方法。其实很简单...