晶圆加热安全距离
在制造现场,晶圆与加热器之间的间隙不是脚注——这是一个不可忽视的工艺参数。让这个距离漂移,热均匀性就会崩溃。软烘焙和硬烘焙的曲线会失控。特征尺寸控制会滑动。返工率上升。 实际上,技术上重要的是什么 我们设定了一个可重复的安全距离,确保晶圆级热均匀性为±0.1℃。该系统依赖于短波红外元件以实现快速、...
红外加热涂装
介绍 如果你曾在狭小的公寓里使用笨重的散热器,你就会理解其中的困难。我们设计的壁挂式红外加热器就是为了解决这个问题。
设计理念很简单:提供有效的取暖,同时不占用地面空间。我们用一个纤薄的装置替代了笨重的箱体,挂在墙上,将热量直接送到需要的位置。
工作原理:功率、电气接线与空间利用 每个装置内部配备...