可与真空环境配套使用的红外加热器

利用真空红外加热技术让半成品的生产更加环保 如果我们真的想实现半导体生产过程中的碳中和目标，那就必须解决热量问题。传统의电阻式加热方式其实非常浪费能源——它需要很长时间才能让腔室升温，而且还会造成能量散失。 因此，我们采用与真空环境相匹配的红外加热器。这类加热器不会试图加热整个真空腔室，因为那样做...