半导体加热器供应商

在光刻过程中，光阻烘烤时的温度波动只要达到0.5°C，就足以导致线条宽度出现纳米级的变化——这样一来，原本合格的产品就会变成废品。因此，温度稳定性并非可有可无的附加条件，而是工艺流程中的核心要素。我们设计的加热器能够确保在150毫米和200毫米尺寸的晶圆上，温度均匀性保持在±0.1°C以内。 关键...