智能传感器封装红外线技术
为什么我们放弃使用强制风冷方式,转而采用红外加热技术呢?
如果您从事智能传感器的相关工作,那么您一定知道最让人头疼的问题就是等待——尤其是等待部件达到所需温度的过程。
长期以来,我们一直依赖强制风冷方式。但这种方式的效率很低。首先需要加热空气,然后再加热整个加热腔体,之后部件才会开始升温。这就好比...
晶圆加工设备用温度传感器
别再让加热元件毁掉你的生产效率了! 如果你在操作100级洁净室,那么你一定知道那有多糟糕。哪怕有一小块杂质或微量挥发性有机化合物逸出,整个批次的产品就都报废了。这真是令人沮丧。大多数普通的加热元件根本无法满足这种要求——在需要稳定工作的时候,它们反而会出现碎裂或释放有害物质的情况。
我们找到了更好...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
让我们来谈谈MEMS干燥过程中灯具损坏的问题吧。
如果你在运营高负荷的MEMS生产线,那么你肯定知道那种糟糕的情况:红外灯突然损坏了。
问题不仅仅是生产线因此而停止运转——虽然那已经很糟糕了——更严重的是随之而来的混乱状况。当石英管破裂时,玻璃碎片和钨沉积物会掉落到传感器晶片上,导致整批产品报废。...
氢气传感器制造用加热器
在处理易挥发性化学物质时,保持环境凉爽且安全至关重要。在制造氢气传感器时,温度控制尤为重要。但问题在于,这种操作通常需要在易燃的清洁剂旁边进行。在这种情况下,普通的红外灯不仅无法起到应有的作用,反而会带来风险。哪怕是微小的火花或石英管上的细微裂纹,都可能引发严重的问题。
我们找到了更好的解决方案:...
用于晶圆的高精度红外传感器
在线上,晶圆以极其有限的热预算进入烘烤站。软烘烤设定光刻胶轮廓。硬烘烤锁定图案的保真度。温度漂移几十分之一摄氏度,无法察觉的热点,都会导致线宽尺寸(CD)偏移。保护膜应力变化。缺陷漏检。翌日的良率评审往往指向温度不均匀性。
我们开发了一款精密红外传感器,直接测量晶圆表面温度,现场读取,满足光刻烘烤...