为何我们在洁净室中选择红外加热技术
在半导体制造厂中，“清洁”不仅仅是一个目标，它才是最关键的因素。哪怕只有极微小的杂质存在，都可能毁掉整批产品。长期以来，人们通常使用对流式烤箱来加热工件。但说实话，这种做法其实效率很低——因为热空气会四处流动，从而浪费大量电能，同时还会让颗粒物在室内飞舞。
因此，我们转而使用红外加热器。与其加热整个房间，不如直接加热工件本身。
直接加热的优势
想象一下，在寒冷的日子里站在阳光下——你不需要空气温度达到80度就能感受到温暖，因为阳光的辐射会直接作用于你的皮肤。红外加热器也是以同样的方式来加热晶圆的。由于不需要让空气循环，我们就消除了洁净室中最主要的污染源。此外，这种方式也更加高效：你不需要为加热整个金属箱而浪费电力，而是将能量直接传递到需要的地方。这是一种更环保、更符合无铅及绿色标准要求的处理方式，无需使用有害的化学溶剂。
需要注意的问题
不过，这种技术并非那么简单易用。我们通常选择短波或中波灯，因为它们能迅速升温。这样一来，生产流程中的时间成本就会大大降低。
但问题在于，由于热量非常集中，所以必须严格控制灯与晶圆之间的距离。如果距离过近，就会出现局部过热的情况，甚至导致晶圆变形。因此，需要一个具备PID控制功能的系统，以便及时调整温度，避免出现异常情况。
更小、更环保的解决方案
最棒的是，这种设备的体积更小。我们无需再使用那些巨大的鼓风机以及厚重的绝缘层，因此固化装置所占用的空间也就大大减少了。此外，红外加热器将电能转化为热量的效率远高于传统的燃气或电阻式加热器。
总而言之，这种技术不仅能降低每块晶圆所需的能耗，还能确保生产过程的清洁度。对于现代制造厂来说，这无疑是一种理想的解决方案。