破損したランプがウェーハを破壊するのを防ごう 高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが故障すると大変な問題になります。単に機械がしばらく停止するだけではありません。もしクォーツ管が破裂したら、ガラスの破片やハロゲン物質が直接ウェーハに降りかかります。そうなると、そのウェーハはすぐに廃棄...

粉塵の発生を防ぐ：クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか？それは、ほとんどのヒーターが実際には微...