ウェーハ乾燥時の石英管の破裂という悪夢を防ぐために 高負荷の半導体工場では、赤外線ランプが破裂するというのは、単なる「技術的なトラブル」やわずかな停止時間に過ぎません。それは完全な災害です。 想像してみてください：石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度破裂するだ...

リソグラフィーの工程においては、わずか半度の温度変動だけでも、ウェハの寸法精度に影響を与え、結果としてワッファー全体が廃棄されることになります。必要なのは、感覚的に「十分に熱くなっている」と思える程度の温度ではなく、毎回一定の条件で加熱できる温度です。 私たちが開発したもの、そしてその意義 このコ...